超高真空校准  超高真空计是超高真空全压力精确测量的关键专用工具，为了更好地获得精确的精确测量結果，必  须对真空计开展校准以确保在超高真空标准下运用的可信性。除此之外，针对冷阴极电  离规的离散系统，虽然生产商作了线形解决，但如果不开展校准仍会产生非常大误  差。热阴极水解规在线形检测范围需要做到测量精度也必须开展校准。校准是在专  门的超高/极高真空校准系统软件中开展的。现阶段选用的校准系统软件有：分子结构束法校准系  统、压力衰减系数法校准系统软件、流导调制法校准系统软件和分流法校准系统软件。  图4-12所显示为选用分流法和压力衰减系数法的非常高/超高真空校准设备，包含：极  高真空系统软件、超高真空系统软件、总流量分流系统软件和气路系统软件。分流法是将已经知道总流量汽体  导入分流室，根据分流室2个流导相距非常大的小圆孔(流导比约为100:1)分流到  极高真空校准室和超高真空校准室。在动态性标准下极高真空校准室的压力p为：

4-10)  p=QC(1-R)(1+Rc)  式中Q让人分流室气体压力，Pa·m/  Rn极高真空系统软件抽真空限定孔返流  C-—极高真空系统软件抽真空限定孔流导，m3/s;  Rc—分流室分流小圆孔流导比(注入超高真空室小圆孔流导和注入极高真空室  小圆孔流导之比)

 
式中的各主要参数R、C、Rc均能够根据试验精准测量，Q能够由精细微蒸汽流量计  得出。运用校准室压力能够对被校准规开展肯定校准  在沒有蒸汽流量计的标准下，能够向分流室充进一定压力汽体，根据小圆孔向非常高真  空校准系统软件打气，稳定平衡后极高真空校准压力被衰减系数为  p=pC1/C(l-Rp

(4-11)  式中p稳定平衡时分流室压力(规范压力规精确测量),Pa;  分流室流入校准室小圆孔流导，m3/s;  该校准设备的关键性能指标为：校准室極限压力，极高真空校准室为7.9  10-0Pa,超高真空校准室为2.3×10-9Pa;校准压力范畴，分流法2.1×10  7.9×1010Pa,压力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不确定度低于0.41%~3.5%  运用该设备对反磁控冷阴极计和热阴极超高真空计开展校准得出修正系数和指数  压力曲线图。校准時间约为7天(包含规持续校准2天時间)。  为了更好地考虑常见的超高真空水解计的校准规定，一般选用核对的相对性校准方式  该方式具备校准设备构造简易、实际操作便捷、校准高效率和应用性强等特性。比对法  超高真空校准设备如图4-13所显示，校准系统软件选用圆柱型构造，由抽制动气室和校准室  构成，两室中间选用一个圆洞限定流导。被校规和参照规各自安裝在校准室地球赤道线  的对称性部位上。参照规采用IE514分离出来规，该规在非常高/超高真空校准设备上开展  压力肯定校准，不确定度1.8%。核对校准系统软件的性能指标为：校准系统软件極限压力  5×10-9Pa、压力校准范畴10-7~10-5Pa、拓展不确定度≤10%(k=3)。

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