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安裝在油扩散泵进风口用于减少泵液的反流和返转移的设备称之为挡板。泵液的 反流可依室内空间方式和沿泵壁肠蠕动爬移二种方法进到器皿。用以极高真空泵的挡板不但 规定具有电子光学密闭式用于阻挡油蒸汽分子结构根据泵通道直接进入器皿,还理应具备优良 的防爬特性。依据挡板所应用的冷却物质,可将挡板分成水冷散热挡板和氟利昂挡板, 前面一种冷却温度为15~10℃(地域供电温度),后面一种常见的致冷物质有氟利昂12和 氟利昂22,选用氟利昂22的冷冻设备单级可得到 一40℃的超低温,加上二次乙醇流 程,温度达到—100℃,因此收集油阀的反流实际效果更强,可得到 106~10Pa的 真空值,但它的冷却系统软件必须配备相对的冷冻设备,和水冷系统较为,价格比较贵, 噪音大,占地大,设备故障率高。在挡板与阱相互配合应用的状况下,采用氟利昂挡 板,预期效果并不大。挡板的冷却一般有直冷和间接性冷却二种方法,图3-51为立即 进入冷却物质的结构形式,冷却效果非常的好,缺陷不是容易清洗,尤其是风机盘管与冷却板的 电焊焊接间隙位置,很有可能还会继续出現虚漏,一旦风机盘管出現漏汽时恢复艰难。图3-52所示 为间冷式挡板,借助撑紧构造紧贴着挡板内腔的冷却筒来冷却挡板,冷却实际效果比不上 直冷式,尤其是图3-52(a)正中间的挡板靠焊在上面的传热筋板冷却,冷却实际效果差。 图3-52(b)所显示为月牙形挡板是立即焊在冷却桶上,导热总面积很大,冷却实际效果 较(a)好。间冷式的优势是生产加工、清理及真空泵维修非常容易。
挡板的另一个性能参数是应具备很大的流导,那样才可以合理地充分发挥泵的抽 速。用蒙特卡洛法得出的不一样挡板的比流导(企业进风口总面积的流导)和较大 二次 束流角见表3-20。
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