真空测量的特性及真空计的采用标准 

  真空测量技术性具备以下特性:  (1)测量范畴宽。真空技术性的发展趋势已可得到 1.1×105Pa直到10-14Pa,宽达19个量级  的压力范畴。因而不太可能借助一种测量基本原理和一种真空计来完成全部范畴的真空度测量。不一样  类型的真空计相匹配分别不一样的压力测量范畴,既有不一样的测量范围。  (2)多见间接性测量。除开压力较高的真空地区(105~10Pa),选用压力的立即测量外,大  一部分底压室内空间气体的测量全是运用底压下气体的一些特点(如导热、水解等)开展间接性的真  空度测量,因而对相对性真空计的校正工作中就看起来至关重要  (3)一般选用电测技术性。因为间接性测量的真空计大多数选用非用电量电测技术性,因而测量反映  快速,敏感度高,为完成自动化技术发挥特长  (4)测量值与气体类型相关。绝大多数真空计的读值与被测气体的类型和有关成份相关,因而测量时要留意被测气体的类型和成份,以防止导致出现偏差的原因  (5)测量精度不高。在间接性测量压力的全过程中,通常必须引入另加动能(如能源、电磁能  机械动能、放射性能这些)。因为这种另加动能的引入将难以避免造成测量出现偏差的原因,而较稀气体能够  造成的测量数据信号自身很很弱。这就决策了真空计的测量精度远比别的的物理学仪器设备的测量精度  低。因而把真空测量标准仪表盘和规范仪表盘的不精确度列入(2~10)×10-2,工作中仪表盘的测量误  差操纵在±20×10-2之内是较为准确的  采用真空计时要考虑到以下一些标准  (1)常用机器设备规定的压力范畴内,采用的真空计是不是有充足的测量精度,总体特性怎样;  (2)被测气体可否对真空计导致损害;  (3)选定真空计对被测的汽态室内空间可否导致危害;  (4)真空计测定的压力值是全压力,還是分压力,是不是已校正,仪器设备的敏感度是不是与被测  的气体类型相关  (5)选定真空计可否完成持续测量,电气设备标示及其反应速度怎样?  6)仪器设备的可靠性、可信性、使用期怎样?
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