1超高真空油扩散泵的極限压力  超高真空油扩散泵極限压力就是指沒有外界气动阀门的标准下,泵长期性运行能够做到  的较少压力(即真空泵本身能够做到的较少压力),这时泵的泵效为零。实际上,  测量扩散泵極限压力时,必须安上按国家行业标准要求的测试罩,并按照要求程序流程开展  测量,这时测试罩内的汽体负荷,将危害到评测的極限压力值。  泵的極限压力能用下式表明:
P=P+QF+Oc

式中p—扩散泵的極限压力,Pa;  P—测试罩壁温下泵油的饱和蒸气压,Pa  S扩散泵的泵效,L/s;  Q-泵的反流气体压力,Pa·L/s;  Q测试罩内气动阀门的气体压力(出供气量、漏汽量

从公式计算(21)能够看得出,测试罩的Qc值,可根据超高真空焊接及密封性构造设  计、激光焊接加工加工工艺及严苛的测漏标准,将漏汽量少到规定值下列;针对原材料的出  供气量,可选用300℃之上高溫烤制和持续长期性抽真空的方式,以减少原材料的排气速  率。若不考虑到测试罩、人口数量处泵壁的漏汽、原材料放空气对極限压力的危害,基础理论上影  响超高真空油扩散泵極限压力的关键要素是泵油的饱和蒸气压和泵的反流(泵的返  流包含油蒸汽和被缩小的汽体反流)。他们和泵油的采用、泵油的分馏设计方案、泵油  的防返油构造及其泵的喷管等比级数等相关,因而,采用超高真空油扩散泵时,应留意  y下泵的特性特性。