与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为三个过程：吸气、压缩和排气。随着转子的旋转，每对啮合的齿完成了相同的工作循环，现在用其中一对齿来解释。在吸气过程中，阳转子逆时针旋转，阴螺钉顺时针旋转。

螺杆式干式真空泵的吸气过程：1。吸气过程即将开始 2.吸气过程中 3.吸气过程结束

当吸气过程即将开始时，转子位置。此时此刻，这对齿前端的型线完全啮合，即将与吸气口连接。随着转子开始旋转，由于齿的一端逐渐脱离啮合，齿体积的扩大在其内部形成了一定的真空，而齿体积只与吸气口连接，因此气体在压差下流入。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中分离出来，齿间体积不断扩大，与吸气孔连接。在吸气过程结束时，转子位置较显著的特点是齿间体积达到较大值。研究的齿间体积不会随着转子的旋转而增加。在这个位置，齿问体积与吸气孔断开，吸气过程结束。

螺杆式真空泵的压缩过程：1。压缩过程即将开始 2.压缩过程中 3.压缩过程结束，排气过程即将开始

螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置.此时，气体被转子齿和外壳包围在一个封闭的空间中，由于转子齿的啮合，齿间体积将开始减小。由于转子齿旋转，由于转子齿的啮合，齿间体积不断减小。密封在齿间体积中的气体占用体积也减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程。压缩过程可以持续到齿间体积即将与排气孔连接。

排气过程：a、排气过程中 b、排气过程结束

螺杆泵的排气过程。齿体积与排气孔连接后，开始排气过程。随着齿体积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔排出，直到齿末端的线完全啮合。此时，齿体积中的气体通过排气孔完全排出，封闭齿体积变为零。

从上述螺杆式干式真空泵的工作原理可以看出，螺杆式干式真空泵是一种工作体积作为旋转运动的体积式机械真空泵。气体的压缩取决于体积的变化，体积的变化取决于螺杆泵的一对转子在壳体内的旋转运动。其工作客户积累在周期性扩大和缩小的同时，其空间位置也在变化。

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