真空设备的泄漏检测方法和可用的检测仪器种类繁多。根据所使用的仪器类型，可分为卤素泄漏检测方法、氦质谱泄漏检测方法等类型。压力泄漏检测方法和真空泄漏检测方法可根据泄漏检测真空室的不同状态进行划分。本文主要分析了振华真空的后一种分类方法，列出了具体的泄漏检测方法类型及其相应的较小泄漏检测率。

振华真空镀膜设备

一、压力检漏法

将一定压力的泄漏物质充入检测真空室。如果真空室泄漏，泄漏物质将从泄漏孔中泄漏。用某些仪器或方法检测真空室外泄漏的泄漏物质，以确定泄漏的存在、具体位置和大小。目前，压力泄漏检测方法的真空系统泄漏检测方法包括：

1.水压法。水压法较小可检漏率为1.3-5.3×10??Pa?L?s?1；

2.压降法。压降法的较小可检漏率为1. a?L?s?1；

3.听音法。听音法较小可检漏率为5。. a?L?s?1；

4.超声波。超声波较小泄漏率为1. a?L?s?1；

5.气泡法。气泡法分为水泡法和皂泡法。水泡法的较小泄漏率一般为102~10a?L?s?1.24小时累10小时2~10小时a?L?s?1.皂泡法较小可检漏率为6.7×10?a?L?s?1；

6.卤素检漏仪吸嘴法。卤素检漏仪吸嘴法较小检漏率为103~10Pa?L?s?1；

7.氨检漏法。氨检漏法较小可检漏率因工作条件(充气)不同而不同；

8.放射性同位素气体法。放射性同位素气体法的较小可检漏率为1.3×10??Pa?L?s?1；

9.氦质谱检漏仪吸嘴法。氦质谱检漏仪吸嘴法较小检漏率为10~10Pa?L?s?1。

二、真空检漏法

由于检测到的真空室和泄漏检测装置的敏感元件在真空环境中检测到的真空室外真实检测到的真空室泄漏，泄漏材料将通过泄漏进入真空室和泄漏检测装置的敏感元件区域，然后检测泄漏材料以检测泄漏的存在 确定位置和尺寸。真空系统的泄漏检测方法包括：

1、真空泄漏检测方法、真空泄漏检测设备包括热偶或电阻真空规格、电离真空规格、热传导真空规格组合、电离真空规格组合、热传导规格、液氮冷却活性炭陷阱、冷阴极电离规格、液氮冷硅胶陷阱等。较小泄漏率低至101oPa?L?s?1，高至10?a?L?s?1；

2.高频火花检漏法较小检漏率为1~10Pa?L?s?1；

3.放电管法的较小可检漏率为1~10?1Pa?L?s?1；

4.静态升压法的较小可检漏率为102~10a?L?s?1；

5.氦质谱检漏法的较小可检漏率为10?10?11Pa?L?s?1。

6.离子泵泄漏检测方法的较小可检泄漏率为101?较小可检较小可检较小可检较小可检较小可检较小可检较小可检较小可检较小可检泄漏率101010Pa?L?s?1；

7.卤素检漏仪较小检漏率为10~4×10??Pa?L?s?1；

8.氢钯法较小可检漏率为10~10Pa?L?s?1；

三、放射性同位素法、荧光法等真空设备检漏方法。