氦质谱泄漏检测一种以氦为示漏气体的专用检漏仪。具有性能稳定、灵敏度高的特点。它是真空检漏技术中灵敏度较高、应用较广泛的检漏仪。氦质谱检漏仪方法已广泛应用于真空检漏技术领域。该方法的优点是：

检漏灵敏度高，可检漏10-11Pam3/s 数量级、仪器响应快、氦分子在仪器高真空环境中扩散快；因此，氦质谱检漏仪广泛应用于宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等航空航天领域。在一般工业领域，原子能、发电厂、配电站、合成氨氮肥生产厂、汽车制造业、造船业、制冷业、冶金业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装不能与泄漏问题分开，导弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、弹头、特殊部件密封使用氦质谱泄漏检测器，本文主要总结了氦质谱检漏仪的原理和方法。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析仪。单级磁偏转型仪的灵敏度为10-9~10-12Pam3/s，广泛应用于各种真空系统和部件的检漏。与单级磁偏转型仪器相比，本底噪声明显降低。其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、部件和部件的泄漏检测。逆流氦质谱泄漏检测器改变了传统仪器的结构布局，检测部件放置在泄漏检测器主泵的前部，具有高压泄漏检测、无液氮、质谱室污染小的特点。适用于泄漏率大、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12Pam3/s。