氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成。

氦质谱泄漏检测仪是一种以氦为泄漏气体进行泄漏检测的专用仪器，具有性能稳定、灵敏度高的特点。在真空泄漏检测技术中，采用通用泄漏检测仪，灵敏度高。

氦质谱泄漏检测器是一种磁偏转质谱分析仪。单级磁偏转换器是一种高灵敏度的仪器，广泛应用于检测各种真空系统和部件的泄漏，具有良好的实用价值。与单层磁偏转装置相比，背景噪声明显降低，灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s，适用于超真空系统、部件和部件的泄漏检测。逆电流氦质谱泄漏检测器改变了传统仪器的结构布局，将检测部件放置在泄漏检测器主泵的前部，在高压条件下可检测泄漏，不会造成液氮污染和质谱室污染.适用于真空系统真空环境卫生差的真空系统检漏，灵敏度可达10-12Pam3/s。

以上是氦质谱检漏仪的介绍，希望对大家有所帮助。