1、真空设备设计中的注意事项

1、真空设备的总允许漏率根据设备的工艺要求确定，每个组件的较大允许漏率根据总漏率确定。

2、根据设备的较大允许泄漏率等指标，初步确定设计阶段将采用的泄漏检测方法，并将其作为指导调试验收的基本原则之一。

3、根据设备或部件的较大允许泄漏指标，确定设备的密封、连接方式和整体加工精度，以及可满足要求的动态密封形式。例如，法兰用金属或橡胶密封。

4、在设计容器结构强度时，应考虑被检件的耐压性和结构强度。

5、在选择零件结构材料时，考虑是否使用可能被工作介质和泄漏气体腐蚀而损坏的材料。

6、在结构设计中，应在容器或系统上留下必要的泄漏检测仪器备用接口，以便在设备组装和调试过程中使用泄漏检测。特别是对于大型、复杂的管道系统，通常需要采用分段泄漏检测方法，因此应在管道上设置分段隔离阀，并在每个隔离段上预留泄漏检测仪器接口。

7、在设计零件结构时，尽量避免使用可能干扰泄漏检测工作的设计方案。例如，真空室内的螺钉孔不能采用盲孔的形式，因为螺钉安装后，螺钉孔内剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚拟泄漏。从而延长系统的抽气时间，干扰泄漏检测的正常进行。如图所示，真空泄漏检测中不应出现的结构。

8、与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生容积”内的气体会形成虚漏；而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无 常检漏。

9、在设计焊接结构时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝。

二 真空设备制造过程中的泄漏检测

在设备加工阶段，有必要遵循加工工艺（特别是焊接工艺），及时检查半成品零件的泄漏情况。对于制造后无法接触、检漏或修复的零件，应严格检查焊缝质量。如果不合格，应及时重新焊接、重新焊接和重新检测。只有在满足要求后才能进行下一道工序。特别是对于大容器的组装焊接和加工，中间过程的泄漏检测非常关键。必要时，应设计和制造专用泄漏检测工具（如泄漏检测箱、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，较好先组装焊接内壁并检查泄漏情况，确认无泄漏后再组装焊接外壁。同样，对于室壁外有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先严格检查室壁的泄漏情况，然后才能覆盖外部结构。

如果条件允许，所有真空法兰及其接管（包括真空室法兰和室壁）都应采用焊接后处理法兰表面的工艺。即使在安装调试阶段可能满足密封要求，加热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，导致法兰变形和密封性能下降。

在加工制造过程中，严格执行真空操作卫生和操作规范，对提高真空设备和系统的气密性也很有帮助。焊接坡口抛光成型后，需要清洗和及时保护，有利于提高焊缝的气密性。加工后的零件应采取移动和静态密封面的保护措施，严格防止在储存、搬运和装配过程中发生碰撞和划伤。使用焊接波纹管、金属、陶瓷或玻璃密封件、玻璃设备等易损件时，应更加小心，特别是避免预检漏损坏。

三、真空设备安装调试过程中的检漏步骤

安装调试阶段是真空设备或系统泄漏检测的主体。如果设备焊缝的气密性已通过加工阶段的泄漏检测得到保证，则在设备安装调试过程中，检查和保证连接部件的密封性是泄漏检测的重点。包括各管道和部件之间的法兰连接和移动密封件等关键可疑部件。如果焊缝和连接部件同时泄漏，泄漏检测的工作量和难度都会增加。大型、复杂的真空设备较好采用分段泄漏检测，每个部件，连接部件和焊缝一次泄漏检测，满足要求后安装下一个部件。由于所有部件组装后的泄漏检测，不仅怀疑部件太多，而且可能同时泄漏多个泄漏，给整体泄漏检测带来了很大的困难。

四 真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：

1、了解待检设备的结构组成和组装工艺。掌握设备要求，找出检漏的关键可疑部位。

2、具 是否需要根据规定的较大允许漏率找到漏洞 从经济、快速、可靠的原则出发，正确选择检漏方法或仪器，准备检漏所需的辅助设备，制定可行的检漏程序。

3、清洁被检件，取出焊渣和油垢，然后根据真空卫生条件进行清洁和干燥。对于要求较高的小型设备。清洗后，可通过真空干燥箱烘烤。清洗后，不仅可以避免漏孔被污垢、油和有机溶液堵塞，还可以保护泄漏检测仪器。

4、校准所选检漏方法和检漏设备的检漏灵敏度，确定检漏系统的检漏时间。

5、采用真空检漏法时，为提高仪器的灵敏度，应尽可能将被检件抽到更高的真空中。

6、在允许的前提下，应尽可能优先考虑经济和现场合格的泄漏检测方法。

7、采用氦质谱检漏设备检漏时，对于要求检漏不高的或有大漏产生的被检件时，在检漏初期应尽量用浓度较低的氦气进行检漏，然后再进行小漏孔的检漏，以节约氦气。

8、及时修复和堵塞已检测到的大漏孔，然后检测小漏孔。9.检查检测和修复的漏孔，确保检测结果符合要求。

五、使用真空设备时的注意事项

在真空设备的使用和运行阶段，设备的气密性往往会下降，整体泄漏率也会上升，这是影响真空设备正常运行的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动松动连接部件；经常拆卸部件的密封圈可能损坏或安装不正确；由于冷热冲击而变形和疲劳损坏；部分部件或材料因工作介质腐蚀而损坏；部分漏洞被水、油或其他污垢堵塞；应力集中引起裂纹。

正确使用真空设备时，应将泄漏检测纳入真空设备的日常维护和管理规范，如定期进行静压检验。操作人员应及时解决设备气密性下降问题，根据设备使用情况和故障现象分析泄漏原因，采取适当的泄漏检测方法，检测泄漏位置，及时修复。不要等到设备出现各种泄漏，没有 工作时检漏维修。

此外，准备充足的密封备件，定期更换易损件（而不是问题后），也是做好真空泄漏检测，确保设备正常运行的主要措施。